Hãy ngừng lãng phí thời gian để sấy khô các wafer MEMS của mình đi! Nếu bạn vẫn sử dụng không khí nóng để sấy khô các wafer sau khi xử lý hoặc làm sạch chúng, thì bạn đang lãng phí thời gian một cách vô ích. Tôi thấy điều này xảy ra ở rất nhiều xưởng sản xuất. Không khí nóng tuy an toàn, nhưng lại khiến quá trình sấy diễn ra chậm chạp. Trước tiên, không khí cần được làm nóng trước, sau đó mới có thể làm nóng wafer. Đây là một quy trình phức tạp, khiến thời gian xử lý bị kéo dài.
Đây là ưu điểm của bộ sưởi bằng tia hồng ngoại: Bộ sưởi này không cần sử dụng không khí để truyền nhiệt. Chúng phát ra bức xạ điện từ trực tiếp lên bề mặt wafer. Bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn trong vài giây thôi, chứ không phải vài phút. Khi xử lý các wafer trong quy trình sản xuất bán dẫn phức tạp, việc tiết kiệm được thời gian sẽ mang lại hiệu quả rất lớn. Các wafer có thể được xử lý nhanh hơn, và quy trình sản xuất cũng diễn ra suôn sẻ hơn.
Tuy nhiên, việc sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại không hề đơn giản như việc thay thế bóng đèn thông thường. Bộ sưởi này tạo ra nhiệt độ rất cao. Nếu hệ thống điều khiển PID không được thiết lập chính xác, bạn có thể gặp phải tình trạng quá nhiệt, hoặc làm hư hỏng các cấu trúc MEMS. Bạn cần có hệ thống phản hồi chính xác, nếu không sẽ gây ra nhiều vấn đề.
Không khí nóng thì dễ kiểm soát hơn, nhưng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại thì không. Tuy nhiên, nếu bạn đang vận hành nhà máy với công suất lớn, thì bộ sưởi bằng tia hồng ngoại là lựa chọn tốt nhất. Các thiết bị sử dụng bộ sưởi này có kích thước nhỏ hơn so với các lò sưởi thông thường, vì vậy bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn mà không chiếm quá nhiều diện tích.
Ngoài ra, việc sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại giúp đảm bảo độ đồng đều trong việc truyền nhiệt. Bạn sẽ không còn phải lo lắng về những vết nước hoặc chất cặn hóa học xuất hiện do dòng khí không ổn định nữa.
Nếu bạn muốn mở rộng quy mô sản xuất, đây chính là giải pháp tốt nhất. Nhưng hãy chắc chắn rằng hệ thống làm mát của bạn có thể xử lý được lượng nhiệt tỏa ra từ bộ sưởi. Bạn không muốn các thiết bị khác bị quá nhiệt trong lúc bạn đang sấy khô các wafer.