Giữ cho các tấm wafer ở nhiệt độ thích hợp: Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng phương pháp sưởi bằng tử ngoại
Khi di chuyển các tấm wafer giữa các công đoạn xử lý, nhiệt độ là yếu tố quan trọng nhất. Trước đây, người ta thường sử dụng lò sưởi thông thường, nhưng thực ra đó là cách lãng phí năng lượng. Bạn phải làm nóng cả căn phòng chỉ để giữ ấm vài tấm wafer mà thôi.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng đèn tử ngoại trên các xe đựng wafer trong phòng sạch. Đó là cách hiệu quả hơn nhiều để duy trì nhiệt độ cần thiết cho các tấm wafer.
Tiết kiệm năng lượng mà không gây phiền toái
Đặc điểm của phương pháp sưởi bằng tử ngoại là việc truyền nhiệt thông qua bức xạ. Thay vì làm nóng không khí xung quanh, chúng ta chỉ cần hướng nhiệt trực tiếp vào tấm wafer. Điều này rất hữu ích đối với những ai muốn xây dựng nhà máy “xanh”. Chúng tôi đã giảm được lượng năng lượng lãng phí. Hơn nữa, những chiếc đèn này có thể đạt được nhiệt độ mong muốn trong vài giây thôi. Bạn không cần phải để hệ thống hoạt động 24/7 chỉ để tránh phải chờ đợi quá lâu. Chỉ cần bật đèn lên, nó sẽ hoạt động ngay. Rất đơn giản.
Chi tiết về thiết bị
Chúng tôi thường sử dụng các linh kiện quartz bước sóng ngắn. Chúng có khả năng xuyên qua vật liệu nhanh hơn, giúp chúng tôi có thể thiết kế thiết bị nhỏ gọn hơn. Chúng tôi cũng dành nhiều thời gian để điều chỉnh khoảng cách giữa đèn và tấm wafer, vì nếu nhiệt không được phân bố đều, toàn bộ quy trình sẽ trở nên vô ích.
Nhưng cần lưu ý rằng những chiếc đèn tử ngoại này tiêu thụ rất nhiều năng lượng. Nếu không cẩn thận, bạn có thể làm hỏng các thiết bị trong phòng sạch. Hãy đảm bảo rằng dây cáp và nguồn điện có khả năng chịu được tải trọng cao trước khi bật đèn.
Những khó khăn
Phương pháp sưởi bằng tử ngoại rất nhanh, nhưng cũng gây ra những “vùng nóng” mạnh. Nếu xe đựng wafer không được bảo vệ tốt, không khí trong phòng sạch sẽ bị làm nóng, hoặc tệ hơn nữa, các cảm biến nhạy cảm trên xe đựng wafer có thể bị hỏng.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng lớp phủ phản xạ. Lớp phủ này giúp phản xạ nhiệt trở lại về phía tấm wafer, giúp giữ cho thiết bị mát mẻ. Đó là cách để cân bằng giữa tốc độ sưởi và việc bảo vệ thiết bị.