Trong quá trình xử lý, chất chống phơi sáng không thể chịu đựng được những sai số nhỏ. Nếu nhiệt độ trong quá trình xử lý tăng 2°C, điều này sẽ khiến cho các chi tiết được tạo ra bị biến dạng do hiện tượng giữ lại chất hòa tan trong chất chống phơi sáng. Ngược lại, nếu nhiệt độ quá cao ở các vùng rìa, cấu trúc của lớp vật liệu bị phá hủy. Vì vậy, chúng tôi sử dụng đèn hồng ngoại trong phòng sạch để loại bỏ những sai số này.
Những yếu tố quan trọng Đèn hồng ngoại phát ra ánh sáng hồng ngoại tầng sóng ngắn, làm nóng chất chống phơi sáng mà không ảnh hưởng đến các thành phần khác. Ánh sáng này giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định, trong khoảng ±0,1°C, và độ lặp lại của nhiệt độ là ±0,05°C sau mỗi lần xử lý. Bộ phát ánh sáng được chế tạo từ thạch anh-halogen, được lắp đặt trong phòng sạch loại 1–100, vì vậy không có hạt bụi nào thoát ra trong quá trình hoạt động. Công suất của đèn có thể được điều chỉnh cho các tấm wafer có kích thước từ 150 mm đến 300 mm. Tốc độ điều chỉnh nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ, giúp các lớp vật liệu mỏng vẫn có thể chịu được cả quá trình xử lý ở nhiệt độ thấp lẫn nhiệt độ cao. Hệ thống này hoạt động liên tục trong môi trường sản xuất, không có thời gian ngừng máy không mong muốn; độ lệch về chất lượng sau 5.000 giờ hoạt động vẫn ở mức dưới 5%.
Lý do tại sao hệ thống này hoạt động tốt trong thực tế là vì độ chính xác về nhiệt độ phù hợp với yêu cầu của quy trình in ấn. Đèn giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt các bước xử lý, giúp kiểm soát chính xác kích thước của các chi tiết được tạo ra. Độ đồng đều cao giúp giảm thiểu các khiếm khuyết ở các vùng rìa, giảm lượng vật liệu bị hỏng, và rút ngắn thời gian kiểm tra chất lượng. Mức tiêu thụ điện năng thấp, và khả năng phản ứng nhanh giúp việc thay đổi thông số xử lý diễn ra nhanh chóng mà không ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.
Một vài thực tế trong quá trình sử dụng Đèn này cần có mạch điện riêng trong phòng sạch, cùng với cáp dây điện không gây nhiễu điện từ, để tránh ảnh hưởng đến các thiết bị in ấn. Khi thay đổi kích thước wafer, cần có thời gian khởi động ngắn, đồng thời cần tiến hành calibrat nhiệt độ. Bộ phát ánh sáng hoạt động ở nhiệt độ cao, vì vậy cần xử lý nó trong phòng sạch theo đúng quy trình. Chúng tôi cung cấp bộ dụng cụ thay thế để việc bảo trì diễn ra nhanh chóng.