为何我们要如此重视晶圆加热器的绝缘性能测试
在极高真空环境中运行晶圆时，容错率几乎为零。哪怕出现一点点电气泄漏，也会导致整个生产批次失败，生产线也会停止运转，带来巨大的麻烦。
我们设计的加热器能够承受极端的热循环考验，但真正的威胁其实是绝缘层的破损。涂层上的微小孔洞或导线上的细微损伤都可能引发电弧现象。这是我们极力想要避免的糟糕情况。
我们为何要进行100%的高压耐压测试和绝缘电阻测试
我们不会只对少数产品进行随机检测。每台离开我们工厂的加热器都必须经过严格的高压耐压测试和绝缘电阻检测。
当然，检查加热器是否能够正常工作很简单。但我们所做的并非如此。我们实际上是在让绝缘层承受极高的压力，看看它们能否承受这种压力。有些缺陷是看不见的——比如石英外壳上的细微裂纹或陶瓷材料中的微小缺陷，在低压测试中可能无法被检测出来。但一旦达到工作温度，这些缺陷就会显现出来。
通过在工厂里施加高压，我们可以提前发现那些薄弱点。我们宁愿在实验室里让加热器损坏，也不愿让它在实际使用中出故障。
效率与空间的权衡
为了实现高密度加热，就必须尽量缩小加热元件与接地框架之间的距离。不过，这样做的风险也很高：电气干扰就会成为问题。虽然这样可以获得所需的强大热量，但同时也会给绝缘层带来巨大压力。此外，如果系统的接地方式不当，即使是最完美的加热器也可能会出现电流泄漏的情况。因此，我们必须确保绝缘电阻值远高于千欧姆的标准，这样才能保证产品的安全性。
不再有“产品早期故障”的问题
没人希望新买的部件在安装后立刻出现故障。我们把这种情况称为“产品早期故障”，它会给生产效率带来极大的影响。
从我们这里得到的加热器无需再担心其稳定性或绝缘性能问题，因为这些都已经过严格测试。您只需将其接上电源，设定好温度，就可以安心工作了，因为产品的安全性已经得到了保障。