保持晶圆温度：为何我们选择使用红外线加热技术
在将晶圆从一个处理阶段转移到另一个处理阶段时，温度至关重要。长期以来，人们一直使用对流式烤箱来保持晶圆的温度，但说实话，这种做法效率很低——为了给几片晶圆保温，却不得不让整个房间都处于高温状态。
因此，我们开始在洁净室内的传送车上使用红外线灯。这是一种更有效的加热方式。
节能且省心
红外线加热的原理是通过辐射来传递热量。无需费力地加热传送车周围的空气，只需将热量直接作用于晶圆即可。对于那些希望打造“绿色工厂”的人来说，这无疑是个巨大的优势。我们可以大大减少能源浪费。此外，这些红外线灯能够在短时间内达到设定温度，无需让系统持续运转以等待升温。打开开关后，它立刻就能开始工作，非常简单。
硬件方面的注意事项
我们通常选择短波石英元件，因为它们能更快地穿透材料，从而让硬件保持较小的尺寸，不会妨碍传送车的正常运行。我们还会花大量时间调整焦距，因为如果热量无法均匀地分布到晶圆上，那么整个加热过程就毫无意义了。
不过有一点需要注意：红外线灯的耗电量相当大。如果不小心的话，可能会导致电路过载，甚至损坏设备。因此在启动设备之前，务必确保电缆和电源能够承受峰值负荷。
挑战所在
虽然红外线加热速度很快，但它也会产生强烈的热效应。如果传送车没有得到妥善保护，那么洁净室内的空气就会被加热，甚至可能损坏传送车上的敏感传感器。为了解决这个问题，我们会使用反射涂层，将热量反射回去，从而保持硬件的冷却。这需要仔细平衡各种因素，这样才能实现快速加热的同时，又能保证设备的正常运行。