不锈钢加热器外壳制造

在光刻车间，光刻胶对漂移零容忍。软烘或硬烘曲线偏差2°C，关键尺寸控制就会失效——生产线随之停摆。我们设计了用于晶圆厂的不锈钢加热器外壳，在这里热稳定性不是“可有可无”，而是工艺的核心。 关键技术细节 该外壳采用高纯度电解抛光不锈钢材质，内部加热器布局经过调校，实现晶圆级均匀性——烘烤表面温度控制...