MEMS传感器晶圆干燥加热器

别再浪费时间去烘干MEMS晶圆了！ 如果你仍然使用热空气来烘干经过蚀刻或清洗后的晶圆，那其实就是在白白浪费时间。 我在很多工厂都看到这种情况。虽然热空气看似比较安全，但实际上它的干燥效率很低。它需要先加热空气，然后再让空气去加热晶圆。这种间接的加热方式只会延长处理时间。 红外加热器则有所不同。 红...