洁净室工作台红外灯

在曝光过程中，光刻胶对任何细微的温度变化都非常敏感。如果烘烤温度偏差达到2°C，就可能导致溶剂残留，进而使图案出现变形。而如果烘烤温度过高，晶圆的边缘区域就会受到影响，蚀刻效果也会变差。因此，我们在洁净室的工作台上配备了红外灯，以此来消除这些温度波动带来的影响。 关键在于其精确的控温能力 该红外灯...