V prostředí výroby se hodnota teploty odvíjí od určitých úrovní – je to prosté. Jemná změna teploty o 0,5 °C během procesu zahřívání fotorezistu, nebo chladná oblast na povrchu polovodičové desky během procesu zasychání může narušit kritické rozměry desek, zvýšit počet částic a proměnit kvalitní desky ve šrot. Naše ohřívače na bázi uhlíkových nanotrubic eliminují tyto problémy.
Co je důležité uvnitř zařízení
Vybrali jsme ohřívače na bázi uhlíkových nanotrubic, protože reagují rychle, zachovávají stabilní úroveň emisivity a spolupracují s krátkovlnným infračerveným zářením pro efektivní přenos energie. Výsledkem je rovnoměrnost teploty v aktivní oblasti desky na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost nastavených hodnot na úrovni ±0,2 °C. Kontrola tempa zajišťuje, že teplota zůstane v mezích stanovených parametrů, a stabilita teploty přetrvává i během dlouhých procesů zahřívání a zasychání. Tento design nevytváří žádné částice a je vhodný pro čisté prostory třídy 1–100. Zařízení s uzavřenou smyčkou umožňuje jeho provoz bez přerušení.
Proč je to důležité v litografii a dalších aplikacích
V litografii je potřeba konzistentní proces zahřívání, aby byla dosažena správná viskozita fotorezistu a odstraněny rozpouštědla. Při procesu zasychání je potřeba opakovatelné spojování molekul, aby vzor zůstal neporušený. Naše ohřívače zajišťují rovnoměrnost a opakovatelnost, což umožňuje kontrolu rozměrů desek a snižuje variabilitu na okrajích desek. Sušení polovodičových desek probíhá efektivněji, s méně povrchovými vadami a menším množstvím oprav.
Rychlá reakce ohřívačů zkracuje dobu procesu, zatímco efektivní použití krátkovlnného infračerveného záření snižuje spotřebu energie na každou várku. To umožňuje delší dobu provozu zařízení a snižuje množství šrotu.
Co je potřeba vzít v úvahu
Ohřívače na bázi uhlíkových nanotrubic vyžadují speciální napájecí a řídicí rozhraní, které odpovídá velikosti vašeho zařízení a bezpečnostním pravidlům. Očekávejte krátký čas na kalibraci ohřívačů podle typu fotorezistu a substrátu.
Systém je spolehlivý, ale stále je potřeba ověřit tepelnou spojitost s čepem a komorou vašeho zařízení – jinak nebudete moci dosáhnout požadované rovnoměrnosti teploty. Jakmile to bude správně nastaveno, proces zůstane stabilní. Práce mohou probíhat pouze tehdy, když to zažádáte.