V provozu výroby není tepelná odchylka během zahřívání fotorezistentů nebo sušení destiček jen problémem – ovlivňuje také kritické rozměry a potichu snižuje výtěžnost výroby. Vytvořili jsme topnou lampu TEL, která udržuje teplotu procesu stabilní po celou dobu provozu.
Co je důležité v podstatě
Lampa využívá halogenový zdroj krátkých vln v obalu z vysoce čistého křemíku. Spolu s strategií řízení v uzavřené smyčce dochází k udržení rovnosti teploty na úrovni ±0,1 °C. Reakce lampy je rychlá, takže nedochází k překročení teploty během procesů zahřívání.
V čisticích místnostech třídy 1–100 je nezbytné minimalizovat vznik částic. Tento design zajišťuje konstantní počet částic i po tisících tepelných cyklů. Opakovatelnost výstupů zůstává na úrovni 5 000 hodin a odchylky teploty zůstávají pod 5 %.
Proč se hodí do tohoto procesu
Litografie funguje v omezených tepelných podmínkách. Lampa umožňuje opakované použití během procesů zahřívání, což pomáhá snížit množství odpadu a zlepšit kontrolu rozměrů destiček. Při čištění a sušení destiček odstraňuje povrchovou vlhkost bez vzniku tepelného napětí, takže lze pracovat rychleji s menším množstvím spotřebního materiálu. Při balení rychle a rovnoměrně zasychají izolační látky, čímž se šetří čas v troubě a energetické nároky. Výsledkem je méně oprav, lepší kontrola kvality a předvídatelný harmonogram práce.
Zde jsou praktické detaily
Lampa se připojuje na standardní platformy TEL pomocí odpovídajících konektorů a montážních prvků. Je však nutné dbát na přesné zarovnání – vzdálenost mezi lampou a destičkou musí být během instalace ověřena s přesností na submilimetry. Očekávejte krátkou dobu adaptace lampy, a proto plánujte řízené ohřevání před zahájením provozu. Dodržujte specifikované parametry napájecího zdroje, abyste ochránili životnost zdroje a udrželi rovnost teploty na úrovni ±0,1 °C.