Auf der Produktionsfläche wird die Genauigkeit in Grad ausgedrückt – ganz einfach. Eine Abweichung von 0,5 °C während des Weichbrennvorgangs des Fotolacks oder ein kühler Bereich auf der Waferoberfläche während der Aushärtung können dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinträchtigt werden, die Anzahl der Partikel steigt und gute Bauteile unbrauchbar werden. Wir haben Heizelemente aus Kohlenstoffnanoröhren entwickelt, um diese thermischen Unsicherheiten aus dem Prozess zu eliminieren.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben Heizelemente aus Kohlenstoffnanoröhren gewählt, weil sie schnell reagieren, lokalisiert wirken und eine stabile Ausstrahlungsleistung bieten. In Kombination mit Kurzwellen-Infrarotstrahlung kann so Energie effizient übertragen werden. Das Ergebnis ist eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1 °C in der aktiven Zone sowie eine Wiederholgenauigkeit von ±0,2 °C. Die Steuerung sorgt dafür, dass die Temperatur im gewünschten Bereich bleibt, ohne dass es zu Überhitzungen kommt. Zudem bleibt die Stabilität auch während langen Brenn- und Aushärtevorgängen erhalten. Das Design erzeugt keine Partikel und eignet sich für Reinraumklassen 1–100. Die Schließschleife sorgt dafür, dass das System Schicht für Schicht weiterhin ordnungsgemäß funktioniert, ohne unerwartete Ausfälle.
Warum das in der Lithografie und darüber hinaus von Vorteil ist
In der Lithografie ist ein konstanter Weichbrennvorgang notwendig, damit die richtige Viskosität des Fotolacks erreicht wird und Lösungsmittel entfernt werden können. Bei einem Hartbrennvorgang ist eine wiederholbare Vernetzung des Fotolacks erforderlich, damit das Muster intakt bleibt. Unsere Heizelemente sorgen für die nötige Gleichmäßigkeit und Wiederholgenauigkeit, wodurch die Kontrolle der Abmessungen gewährleistet wird und die Variabilität an den Rändern reduziert wird. Dadurch wird die Waferoberfläche sauberer und trockener – mit weniger Oberflächenfehlern und weniger Nacharbeiten.
Die schnelle Reaktion verkürzt die Zykluszeit, und das effiziente NIR-Spektrum verringert den Energieverbrauch pro Charge. Dadurch werden mehr Prozessoptionen möglich, die Anzahl der Ausschusswaren nimmt ab und die Wartungsintervalle werden länger.
Was man berücksichtigen muss
Die Heizelemente aus Kohlenstoffnanoröhren benötigen eine eigene Strom- und Steuereinheit, die zum Aufbau Ihrer Ausrüstung und zu den Sicherheitsvorkehrungen passt. Es wird eine kurze Einrichtungszeit benötigt, um die Heizprofile an Ihren Fotolack- und Substratstapel anzupassen.
Das System ist robust, doch Sie müssen trotzdem die thermische Verbindung zum Chuck und zur Kammer in Ihrer spezifischen Anlage überprüfen – andernfalls kann die gewünschte Gleichmäßigkeit nicht erreicht werden. Sobald alles richtig eingestellt ist, bleibt der Prozess stabil. Schichten werden nur dann erstellt, wenn Sie es entscheiden.