Hören Sie auf, Energie in Ihrer Waferfertigung zu verschwenden!
Wenn Sie Ihre Fertigungsanlage aufrüsten, wissen Sie doch, dass das Verschwenden von Energie im Grunde genommen bedeutet, Geld wegzuwerfen. Wenn man die Wafer erhitzt, braucht man nicht nur „viel Wärme“ – man braucht auch Energie, die tatsächlich die Oberfläche der Wafer erreicht.
Das Problem: Die meisten herkömmlichen Quarzlampen sind unpräzise bei der Energieabgabe. Sie geben Energie in alle Richtungen ab – dadurch erreicht viel dieser kostbaren Energie gar nicht das Ziel. Deshalb verwenden wir reflektierende Elemente, die mit Gold überzogen sind. Auf diese Weise werden die Energieverluste minimiert.
Die Kraft des Goldes
Stellen Sie sich einen herkömmlichen Infrarotemitter vor: Er gibt Energie in einem 360-Grad-Kreis ab. In einem sauberen Raum gelangt dabei die Hälfte der Wärme entweder an die Gehäusewand oder verschwindet einfach in der Luft.
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine dünne Goldschicht auf den Reflektor auftragen. Gold ist hervorragend darin, Infrarotstrahlung zurückzuschlagen. Anstatt dass die Photonen einfach verloren gehen, werden sie wieder zur Wafer zurückgelenkt. Jeder Watt Energie, den Sie aus dem Netz beziehen, wird tatsächlich genutzt.
Wichtig: Kühlung
Man kann eine goldüberzogene Lampe einfach nicht in eine alte Anlage einbauen – man muss zunächst die Kühlungsanlage überprüfen. Da Gold die Wärme so gut konzentriert, steigt die Intensität am Fokuspunkt stark an. Wenn Ihre Kühlungssysteme dafür nicht geeignet sind, können die Dichtungen der Lampe beschädigt werden oder die Ränder der Wafer überhitzt werden. Überprüfen Sie daher unbedingt den Luftstrom sowie die Kühlsysteme, bevor Sie den Schalter einschalten.
Was das für Sie bedeutet
Es geht hier nicht um irgendwelche abstrakten „Verbesserungen“. Es geht darum, Ihren Prozess effizienter zu gestalten. Sie werden feststellen, dass die Aufwärmzeiten kürzer sind und die Wärme gleichmäßig auf der Wafer verteilt wird. Keine störenden kalten Stellen mehr, die zu Fehlern führen können. Zudem haben Sie nun mehr Freiheit: Sie können entweder den Gesamtenergieverbrauch senken, um die gewünschte Temperatur zu erreichen – oder Sie können höhere Temperaturen erzielen, ohne die Hauptstromversorgung austauschen zu müssen. Das macht die Arbeit einfachster.