در فرآیند تولید، میزان حرارت مورد نیاز، به صورت درجات اندازهگیری میشود؛ ساده و واضح است. اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین پخت نرم فوتورزیست، یا وجود نقاط سرد در سطح ویفر در حین فرآیند خشک کردن، میتواند منجر به اختلال در ابعاد مهم قطعات شود؛ همچنین باعث افزایش تعداد ذرات ناخواسته و تبدیل قطعات خوب به ضایعات میشود. ما گرمکنهای مبتنی بر نانولولههای کربنی را طراحی کردیم تا این عوامل گرمایی را از فرآیند حذف کنیم.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از عناصر گرمایشی مبتنی بر نانولولههای کربنی استفاده کردیم؛ زیرا این عناصر سریع واکنش نشان میدهند، گرمای تولید شده در یک ناحیه مشخص باقی میماند، و دارای قابلیت پایداری بالایی هستند. همچنین، استفاده از امواج مادون قرمز کوتاه، به انتقال انرژی به صورت کارآمد کمک میکند. نتیجه این کار، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد است. کنترل دما، از خروج از محدودههای تعیین شده جلوگیری میکند؛ همچنین، پایداری دما در طول فرآیندهای طولانی نیز حفظ میشود. این سیستم هیچ ذرهای تولید نمیکند و مناسب برای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ است. سیستم کنترل حلقه بسته، امکان کارکرد مداوم سیستم را فراهم میکند؛ بدون هیچ توقف ناخواستهای.
چرا این روش در فرآیندهای لیتوگرافی و فرآیندهای مشابه مفید است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، برای دستیابی به چسبندگی مناسب فوتورزیست و حذف حلالها، نیاز به پخت نرم یکنواخت وجود دارد؛ همچنین، برای حفظ ساختار الگو، نیاز به پخت سخت قابل تکرار وجود دارد. گرمکنهای ما، یکنواختی و تکرارپذیری لازم را فراهم میکنند؛ همچنین، باعث کاهش تغییرات در ابعاد قطعات میشوند. خشک شدن ویفر نیز بهتر و کاملتر انجام میشود؛ با کمترین نقص در سطح ویفر و کمترین نیاز به تعمیرات.
واکنش سریع گرمکنها، زمان فرآیند را کوتاه میکند؛ همچنین، استفاده از امواج مادون قرمز کوتاه، مصرف انرژی را کاهش میدهد. این امر باعث میشود فرآیندها بهتر انجام شوند، ضایعات کاهش یابد و فاصله زمانی تعمیرات نیز طولانیتر شود.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟ گرمکنهای مبتنی بر نانولولههای کربنی، به یک رابط تغذیه و کنترل مجزا نیاز دارند؛ این رابط باید با ابعاد و سیستمهای ایمنی تجهیزات شما سازگار باشد. انتظار داشته باشید که زمان تنظیم پارامترهای گرمایشی برای فوتورزیست و سطح ویفر، کوتاه باشد.
این سیستم بسیار قابل اعتماد است؛ اما همچنان باید اتصال حرارتی آن به چاپخانه و محفظه مربوطه را بررسی کنید؛ در غیر این صورت، نمیتوانید یکنواختی دمایی مورد نظر را حفظ کنید. وقتی که این اتصال صحیح باشد، فرآیند به طور پایدار ادامه خواهد داشت؛ شیفتهای کاری نیز تنها زمانی انجام خواهند شد که شما تصمیم بگیرید.