در مرحله بستهبندی، ویفر از فرآیند تمیزکاری نهایی خارج میشود و زمان شروع فرآیند بستهبندی آغاز میگردد. هرگونه رطوبت باقیمانده روی سطح ویفر، میتواند منجر به مشکلاتی مانند حفرهها، جدا شدن لایهها و کاهش کیفیت ویفر شود. حتی کوچکترین تغییر در دما نیز میتواند به سلامت فوتورزیست منجر شود و باعث کاهش قابلیت تکرارپذیری فرآیند شود. بنابراین، نیاز به فرآیند خشککردن دقیق وجود دارد؛ فرآیندی که همانند روش لیتوگرافی، دقیق باشد، اما در عین حال با سرعت فرآیند بستهبندی هماهنگ باشد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما دمای سطح ویفر را در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد کنترل میکنیم؛ همچنین، تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰٫۲ درجه سانتیگراد است. فرآیند گرمایش از طریق امواج مادون قرمز انجام میشود؛ پنجرههای کوارتزی نیز برای انتقال سریع انرژی استفاده میشوند. عناصر تقویتشده با الیاف کربن نیز برای حفظ پایداری مکانیکی ویفر استفاده میشوند. در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰، تعداد ذرات موجود در هر سانتیمتر مربع، کمتر از ۰٫۱ ذره در ۰٫۱ میکرومتر است.
عملکرد دستگاه برای بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت ثابت باقی میماند؛ درصد تغییر دما نیز کمتر از ۵٪ است. کنترل دما از طریق سیستم SECS/GEM انجام میشود؛ همچنین، سیستم حرارتی برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است.
چرا این روش برای فرآیند بستهبندی مناسب است؟
این سیستم برای فرآیند خشککردن ویفر قبل از بستهبندی طراحی شده است. تغییرات دما سریع اتفاق میافتد؛ بنابراین زمان لازم برای پایان دادن به فرآیند کاهش مییابد. عدم وجود ذرات، سطح ویفر را تمیز نگه میدارد؛ همچنین، یکنواختی دما نیز از سلامت فوتورزیست محافظت میکند.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا فرآیند گرمایش سریع انجام میشود و دما در حد مورد نظر باقی میماند. نتیجه این امر، کاهش تعداد کارهای تکراری، پایداری ابعاد کلیدی ویفر، و امکان برنامهریزی برای تولید است.
چه چیزهایی برای راهاندازی این دستگاه لازم است؟
برای راهاندازی این دستگاه، به یک خط ولتاژ ۲۰۸–۲۴۰ ولت نیاز است؛ همچنین، هوای تمیز و خشک با فشار ۴–۶ بار نیز ضروری است. ابعاد این دستگاه کوچک است، اما باید فضای کافی در اطراف پنجرههای کوارتزی برای تخلیه هوا و دسترسی وجود داشته باشد. اتصال این دستگاه به دستگاههای موجود نیز آسان است؛ اما برای تنظیمات مناسب، بهتر است یک آزمایش کوتاه انجام شود.
فرصت لازم برای یکپارچهسازی این دستگاه، حدود دو هفته است؛ این زمان شامل تنظیمات مربوط به سیستم SECS/GEM نیز میشود.