En milieu de production, le photorésiste ne tolère pas de petites variations. Une déviation de 2 °C lors du séchage doux peut entraîner des distorsions dans les motifs obtenus après exposition, dues au rétention de solvants. Le séchage intense provoque quant à lui une surchauffe aux marges du disque, ce qui entraîne une déformation du profil d’etchage. Nous utilisons donc une lampe infrarouge dans la salle propre afin d’éliminer ces variations au niveau du poste de travail.
Ce qui est important en réalité La lampe infrarouge agit directement sur la couche de photorésiste en émettant des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui permet de chauffer uniquement le photorésiste, sans toucher au support sur lequel il est appliqué. Elle maintient une température constante de ±0,1 °C sur toute la surface du disque, avec une reproductibilité de ±0,05 °C d’un traitement à l’autre. L’émetteur est en quartz-halogène, et il est monté dans un boîtier adapté à une salle propre de classe 1–100, ce qui évite toute formation de particules sous un flux laminaire. La densité de puissance est ajustable pour des disques de 150 mm à 300 mm de diamètre. Les taux d’augmentation de la puissance sont contrôlés de manière à ce que les films minces puissent résister aussi bien au séchage doux qu’au séchage intense. Le système fonctionne 24h/24 dans les usines de fabrication, sans aucune panne imprévue. Après 5 000 heures de fonctionnement, la déviation de performance reste inférieure à 5 %.
Voici pourquoi ce système fonctionne bien en pratique : sa précision thermique correspond aux exigences de la lithographie. La lampe permet de maintenir une température constante pendant les étapes de séchage doux, de séchage intense et les étapes suivantes, ce qui garantit une qualité constante des produits finis. Une meilleure uniformité réduit les défauts aux marges, diminue les pertes et accélère les cycles de validation. La consommation d’énergie est faible, et la réponse rapide et reproductible de la lampe permet des changements de produit plus rapides, sans nuire aux paramètres de séchage.
Quelques réalités pratiques La lampe nécessite un circuit électrique dédié dans la salle propre, ainsi que des câbles à faible interférence électromagnétique, afin qu’elle ne interfère pas avec les outils d’exposition. Lorsque vous changez la taille des disques, il est nécessaire de prévoir un temps de chauffe suffisant, ainsi que de réaliser une calibration thermique. L’émetteur génère beaucoup de chaleur, il faut donc le manipuler conformément aux protocoles de la salle propre. Nous fournissons également un kit de remplacement pour faciliter les interventions de maintenance.