Arrêtez de gaspiller de l’énergie dans votre usine de fabrication de wafers
Si vous souhaitez améliorer vos équipements, vous savez bien que gaspiller de l’énergie, c’est en fait jeter de l’argent par les fenêtres. Lorsque vous chauffez des wafers, il ne suffit pas d’avoir beaucoup de chaleur : il est nécessaire que cette énergie atteigne réellement la surface du wafer.
Le problème ? La plupart des lampes en quartz standard sont peu efficaces. Elles diffusent leur énergie dans toutes les directions, ce qui signifie que une grande partie de cette énergie coûteuse ne touche jamais le wafer. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. En fait, cela permet de colmater ces fuites d’énergie.
La magie de l’or
Pensez à un émetteur infrarouge standard : il diffuse son énergie dans un cercle complet de 360 degrés. Dans une salle propre, la moitié de cette chaleur se perd ou reste piégée dans l’air.
Nous résolvons ce problème en ajoutant une fine couche d’or sur le réflecteur. L’or est extrêmement efficace pour renvoyer les rayons infrarouges vers le wafer. Ainsi, chaque watt d’énergie fourni est vraiment utilisé à bon escient.
Quelques conseils concernant le refroidissement
Vous ne pouvez pas simplement placer une lampe recouverte d’or dans un équipement existant sans vérifier d’abord son système de refroidissement. Comme l’or concentre tellement bien la chaleur, l’intensité à l’endroit où se trouve le wafer augmente considérablement. Si votre système de refroidissement n’est pas adapté, cela peut endommager les joints de la lampe ou surchauffer les bords du wafer. Vérifiez donc bien votre flux d’air et vos systèmes de refroidissement avant d’allumer la lampe.
Ce que cela apporte concrètement
Il ne s’agit pas d’une “amélioration abstraite”. Il s’agit plutôt de rendre votre processus plus efficace. Vous remarquerez des temps de préchauffage plus courts, ainsi qu’une distribution uniforme de la chaleur sur le wafer. Plus de zones froides qui causent des défauts. De plus, cela vous laisse plus de marge de manœuvre : vous pouvez soit réduire la consommation d’énergie pour atteindre la température souhaitée, soit augmenter la puissance sans avoir à remplacer tout l’équipement. Cela rend simplement les choses plus faciles.