ऑन-लाइन प्रक्रिया में, फोटोरेसिस्ट थोड़े से भी विचलन को सहन नहीं करता। यदि तापमान 2°C तक भी बढ़ जाए, तो इससे घोलों का अवशोषण हो जाता है, जिसके कारण उत्पादों में विकृतियाँ आ जाती हैं। हार्ड बेकिंग के दौरान किनारों पर तापमान बहुत अधिक हो जाता है, जिससे उत्पादों की संरचना खराब हो जाती है। ऐसी स्थितियों से बचने हेतु, हम क्लीनरूम में इन्फ्रारेड लैंप लगाते हैं, ताकि वर्कस्टेशन पर ऐसी विचलनों को दूर किया जा सके।
वास्तविकता में क्या महत्वपूर्ण है?
इन्फ्रारेड लैंप, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड किरणों के द्वारा फोटोरेसिस्ट फिल्म को सीधे गर्म करता है; कैरियर को नहीं। वेफर पर तापमान को ±0.1°C की सटीकता के साथ नियंत्रित किया जाता है, जबकि बेकिंग के बाद तापमान की सटीकता ±0.05°C होती है। इस लैंप का उत्सर्जक भाग क्वार्ट्ज-हैलोजन है, एवं यह क्लास 1–100 वाले क्लीनरूम में ही लगाया जाता है। इसकी ऊर्जा घनत्व 150 मिमी से 300 मिमी आकार के वेफरों के लिए समायोज्य है। तापमान नियंत्रण के कारण पतली फिल्में भी सॉफ्ट बेकिंग एवं हार्ड बेकिंग दोनों को सहन कर पाती हैं। यह सिस्टम 24 घंटे चलता रहता है, एवं 5,000+ घंटों के उपयोग के बाद भी आउटपुट में 5% से कम विचलन होता है।
व्यावहारिक दृष्टि से…
इस लैंप के लिए एक विशेष क्लीनरूम पावर सर्किट एवं EMI-रहित केबलिंग आवश्यक है, ताकि यह एक्सपोजर उपकरणों पर कोई प्रभाव न डाले। जब वेफर का आकार बदलता है, तो थोड़ा समय देकर तापमान को समायोजित करना आवश्यक है। चूँकि यह लैंप बहुत गर्म होता है, इसलिए इसे क्लीनरूम में ही संभालना आवश्यक है। हमने ऐसा करने हेतु एक विशेष किट भी तैयार की है, ताकि नियमित रखरखाव में कोई देरी न हो।