अपने MEMS वेफरों को सुखाने में समय बर्बाद न करें।
यदि आप अभी भी एटचिंग या सफाई के बाद वेफरों को सुखाने हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आप वास्तव में बेकार ही समय बर्बाद कर रहे हैं।
मैंने कई कारखानों में ऐसा ही देखा है। गर्म हवा तो उपयोग में आसान लगती है, लेकिन यह धीमी ही होती है। पहले हवा को गर्म करना होता है, फिर ही वह हवा वेफर को गर्म कर सकती है। यह एक अतिरिक्त प्रक्रिया है, जिससे समय बर्बाद होता है।
इन्फ्रारेड (IR) के बारे में…
इन्फ्रारेड हीटरों में हवा की कोई आवश्यकता ही नहीं होती। ये विद्युत-चुम्बकीय विकिरणों को सीधे वेफर की सतह पर भेजते हैं। इससे लक्षित तापमान तक पहुँचने में केवल कुछ सेकंड ही लगते हैं… मिनट नहीं!
जब गहन अर्धचालक प्रसंस्करण किया जा रहा होता है, तो ये बचे हुए समय काफी महत्वपूर्ण हो जाते हैं। वेफर जल्दी ही प्रसंस्करण प्रक्रिया से गुजर जाते हैं।
लेकिन ध्यान रखें… यह इतना आसान भी नहीं है।
इन्फ्रारेड हीटरों में बहुत अधिक ऊष्मा होती है। यदि PID नियंत्रक ठीक से काम न करें, तो वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है… या पूरे सिस्टम का तापमान बढ़ सकता है। इसलिए आपको एक अच्छा फीडबैक लूप आवश्यक है… वरना समस्याएँ ही होंगी।
गर्म हवा तो थोड़ी उदार होती है… लेकिन इन्फ्रारेड हीटर ऐसा नहीं है।
फिर भी, यदि आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे हैं, तो इन्फ्रारेड हीटर ही सबसे अच्छा विकल्प है। ऐसे हीटरों में उपयोग होने वाले उपकरण छोटे होते हैं… इसलिए आपको अपनी पूरी जगह का उपयोग करने की आवश्यकता ही नहीं है।
इसके अलावा, इन्फ्रारेड हीटरों से वेफरों पर समान ऊष्मा प्राप्त होती है… अब आपको उन अवांछित जल-धब्बों या रासायनिक अवशेषों की चिंता करने की आवश्यकता ही नहीं है।
यदि आप अपने उत्पादन का विस्तार कर रहे हैं, तो यही सबसे अच्छा विकल्प है। बस ध्यान रखें… आपका शीतलन प्रणाली इतनी ऊष्मा को संभाल सके… वरना आपके अन्य उपकरण भी नष्ट हो सकते हैं।