आईआर क्यूरिंग को संभालने हेतु एक बेहतर तरीका
जब आप वेफरों को सुखाते हैं या फोटोरेसिस्ट को सूखने देते हैं, तो आप बड़े धातुई बॉक्सों को गर्म करने में समय बर्बाद नहीं करना चाहते। इसीलिए हम UHP (अल्ट्रा हाई प्यूरिटी) हीटर लैंपों का उपयोग करते हैं।
इसे ऐसे समझें – जैसे कि पूरे ओवन को पहले से गर्म करने के बजाय टोस्टर का उपयोग करना। ऐसे लैंप हवा को गर्म करने के बजाय सीधे अवरक्त विकिरण को सब्सट्रेट तक पहुँचाते हैं।
यह तो बहुत ही तेज़ एवं प्रभावी तरीका है।
इसे संभव बनाने हेतु हम उच्च-घनत्व वाले टंगस्टन फिलामेंटों का उपयोग करते हैं; इन फिलामेंटों को उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से ढका जाता है। अवरक्त तरंगें सेमीकंडक्टर सामग्री से टकरकर तुरंत ऊष्मा में बदल जाती हैं। ऐसे में मशीन की दीवारों को गर्म करने में ऊर्जा बर्बाद नहीं होती… ऊष्मा सीधे वहीं जाती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है। यह तो ऊर्जा बचाने हेतु एक बेहतरीन तरीका है।
“हरित” पहलू
यदि आप लीड-फ्री सोल्डरिंग या पर्यावरण-अनुकूल विधियों का उपयोग कर रहे हैं, तो तापमान का स्तर बहुत ही कम होता है। यदि तापमान बहुत अधिक हो जाए, तो सब्सट्रेट नष्ट हो जाता है… यदि तापमान बहुत कम हो जाए, तो सब्सट्रेट ठीक से जुड़ ही नहीं पाता।
UHP लैंपों की खूबी यह है कि वे मिलीसेकंडों में ही प्रतिक्रिया देते हैं… आप तुरंत ही गर्मी को चालू/बंद कर सकते हैं। चूँकि नियंत्रण बहुत ही सटीक है, इसलिए आपको खतरनाक रासायनिक पदार्थों की आवश्यकता ही नहीं है… कोई VOC नहीं, कोई लीड-युक्त पदार्थ नहीं… सिर्फ़ स्वच्छ, प्रभावी ऊष्मा ही।
लेकिन एक समस्या है…
इन लैंपों में बहुत ही अधिक ऊष्मा होती है… इसके कारण आपके पावर सप्लाई पर बहुत ही दबाव पड़ता है… इसलिए आपको ठंडक हेतु उचित व्यवस्था करनी ही होगी। यदि आपके फैन या हीट सिंक पर्याप्त न हों, तो लैंप के आसपास के इलेक्ट्रॉनिक उपकरण नष्ट हो जाएँगे… आपको लैंप के आउटपुट एवं आपके सिस्टम की ठंडक क्षमता के बीच संतुलन बनाना ही होगा… वरना आपको बार-बार खराब हुए उपकरणों को बदलना ही पड़ेगा।
चूँकि ये लैंप क्लीनरूमों में ही इस्तेमाल होते हैं, इसलिए हम क्वार्ट्ज को ऐसे ही रखते हैं कि उससे कोई गैस न निकले… इस तरह, लैंप से कोई भी पदार्थ वेफर पर नहीं गिरेगा… यह तो बहुत ही सरल, स्वच्छ एवं प्रभावी तरीका है।