Di lantai produksi, perubahan suhu selama proses pemanasan fotoresist atau pengeringan wafer bukanlah masalah sepele. Hal ini dapat mengubah dimensi-dimensi kritis dari wafer, sehingga berdampak negatif pada kualitas produk. Kami menciptakan lampu pemanas TEL untuk menjaga suhu proses tetap stabil, dari satu siklus ke siklus berikutnya.
Apa yang penting dalam desain ini? Lampu ini menggunakan emitor halogen berpanjang gelombang pendek yang terletak di dalam wadah kuarsa berkualitas tinggi. Sistem kontrol berbasis loop tertutup digunakan untuk memastikan keseragaman suhu pada wafer hingga ±0,1°C. Respons lampu sangat cepat, sehingga tidak terjadi peningkatan suhu yang berlebihan selama proses pemanasan.
Di ruang bersih kelas 1–100, pengurangan jumlah partikel sangat penting. Desain ini memastikan jumlah partikel tetap konstan meski setelah ribuan siklus pemanasan. Repeatabilitas hasil proses tetap terjaga selama lebih dari 5.000 jam, dengan penyimpangan suhu di bawah 5%.
Mengapa desain ini cocok untuk proses litografi? Proses litografi membutuhkan kontrol suhu yang ketat. Lampu ini memberikan pola pemanasan yang konsisten, sehingga membantu mengurangi limbah produksi, meningkatkan akurasi dimensi wafer, dan mengurangi biaya produksi. Untuk proses pembersihan dan pengeringan wafer, lampu ini mampu menghilangkan kelembapan permukaan tanpa menimbulkan tekanan termal yang berlebihan. Dalam proses pengemasan, lampu ini dapat menyegel bahan pelindung wafer dengan cepat dan merata, sehingga mengurangi waktu pemrosesan dan konsumsi energi. Hasilnya: lebih sedikit proses perbaikan, data SPC yang lebih akurat, dan jadwal produksi yang lebih dapat diprediksi.
Berikut adalah detail teknisnya: Lampu ini dapat dipasang pada platform TEL standar, dengan koneksi dan sistem pemasangan yang sesuai. Namun, penyesuaian posisi lampu sangat penting—jarak antara lampu dan wafer harus dikontrol secara ketat, yaitu dalam rentang sub-milimeter. Perlu waktu singkat agar lampu berfungsi optimal, jadi perlu dilakukan proses pemanasan terkontrol sebelum digunakan. Ikutilah profil pasokan daya yang ditentukan agar umur lampu tetap terjaga, dan keseragaman suhu tetap terjaga pada kisaran ±0,1°C.