Nel reparto di litografia, si impara subito che anche un leggero cambiamento di temperatura, di soli mezzo grado, può influenzare il profilo del fotoresist. Inoltre, se la temperatura durante il processo di cottura è troppo elevata ai bordi del wafer, si potranno verificare problemi legati alla formazione di impurità sulla superficie del wafer stesso. In una sala pulita di classe 1–100, una singola particella proveniente dai termosifoni può rovinare l’intera produzione. Per questo motivo, abbiamo progettato i forni utilizzati in queste sale pulite con termosifoni a infrarossi, in modo che il calore venga disperso esclusivamente sul wafer, senza influenzare negativamente l’ambiente circostante.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo emettitori a infrarossi a breve lunghezza d’onda per un riscaldamento diretto e rapido; il tempo di risposta è inferiore a un secondo. Il sistema di controllo a circuito chiuso garantisce una uniformità della temperatura su tutto il piano del wafer, entro i limiti di ±0,1°C. In questo modo, i profili di riscaldamento rimangono all’interno dei limiti richiesti, lotto dopo lotto. Il corpo del termosifone è realizzato in acciaio inossidabile, con giunture sigillate e materiali che minimizzano l’emissione di particelle. La struttura del forno è progettata per garantire un ambiente privo di contaminazioni, poiché la quantità di particelle presenti nell’aria viene misurata in unità per piede cubo.
Perché funziona nel contesto della produzione reale
Il fotoresist è sensibile alla temperatura: quindi, una maggiore uniformità della temperatura permette di ottenere risultati migliori, riducendo così i ritocchi e gli sprechi. La rapida risposta termica permette di ridurre i tempi di cottura, senza però superare i limiti consentiti. Inoltre, poiché il calore viene trasmesso direttamente al wafer, invece di riscaldare le pareti e i sistemi di aspirazione, si riduce il consumo energetico. Il tempo di funzionamento continuo rappresenta quindi un indicatore importante della affidabilità del sistema: questo sistema funziona 24/7, con sola manutenzione programmata, senza fermi imprevisti.
Cose da tenere a mente
Il riscaldamento a infrarossi richiede una linea di視野 precisa; pertanto, l’orientamento e lo spaziamento tra i wafer devono corrispondere alla disposizione delle strutture presenti nella sala pulita. Se l’emettitore viene oscurato, si creeranno zone fredde. Prima dell’installazione, è necessario verificare la compatibilità della tensione e dei connettori con il controller del forno. Inoltre, è importante assicurarsi che il percorso di aspirazione sia allineato con il flusso d’aria presente nella sala pulita. È fondamentale effettuare controlli regolari sugli emettitori per mantenere l’uniformità della temperatura durante il processo.