ウェハー脱ガス赤外線ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストのベークは単に温度を達成するだけの話ではありません。クリティカルディメンションの制御を決定づけるのは熱予算であり、それがすべてです。デガス性能がずれ始めたら、すぐにわかります。エッジビーズ、フッティング、ウェーハをスクラップに変える粒子スパイクなどが発生します。当社...