ウェーハ加熱の安全距離

シリコンウェーハの加熱を最大限に活用するためには、単に温度を上げるだけでは不十分です。重要なのは、そのエネルギーがどこに向かっていくかということです。 一般的な石英ランプを考えてみてください。それらはあらゆる方向に放射能を放出します。反射板がなければ、実質的には装置の内部を加熱するために電力を無駄...