웨이퍼 디가스 적외선 히터

공장 현장에서 포토레지스트 베이킹은 단순히 온도를 맞추는 문제가 아니다. 중요한 것은 열 예산(thermal budget)이며, 이것이 치수 제어(CD control)를 결정한다—이 점은 변함없다. 디가스 성능이 변하기 시작하면 즉시 알 수 있다. 엣지 비드(edge...