산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터

반도체 제조 공정에서는, 건조 장치 위에 있는 1나노미터 미만의 미세 입자들이 단 몇 초 만에 300mm 크기의 웨이퍼를 파괴할 수 있습니다. 구식 히터들은 정확한 온도 제어가 어렵으며, 포토레지스트 처리 후에는 열 불균일성으로 인해 선의 너비에 변동이 생깁니다. 따...