Op de productielijn kan een deeltje van minder dan 1 nm op een droogingschacht al in seconden schade toebrengen aan een 300 mm grote chip. Oude verwarmingsapparaten werken niet stabiel, en thermische oneffenheden leiden tot variaties in de dikte van de lagen na het gebruik van fotoresist. Er is dus een thermische controle nodig die zich kan aanpassen aan de procesvereisten, in plaats van dat deze controle juist in de weg staat.
Wat belangrijk is onder het oppervlak
We hebben het industriële systeem voor het drogen van chips ontworpen met behulp van technologieën die geschikt zijn voor gebruik in de lithografie-industrie. Het hart van het systeem bestaat uit een kwarts-halogeenverwarmingssysteem dat is afgesteld om snel en nauwkeurig te reageren. Hierdoor wordt er een minimale temperatuursverschillen gecreëerd, namelijk binnen ±0,1°C gedurende het hele proces. De temperatuurregulatie blijft precies hetzelfde, zodat de resultaten consistent blijven, batch na batch.
Het systeem werkt in een zuiverruimte van klasse 1–100. De materialen en constructie zijn zo gekozen dat er geen deeltjes worden geproduceerd tijdens het gebruik. Hierdoor is het systeem 24/7 betrouwbaar, zonder onverwachte stilstanden. De prestaties blijven stabiel gedurende meer dan 5.000 uur.
Waarom dit in de praktijk werkt
Bij het reinigen en drogen van chips zorgt de verwarming ervoor dat de temperatuur constant blijft. Hierdoor blijven de oppervlakken vrij van restanten en heeft het oppervlak een voorspelbare energiegraad. Tijdens het gebruik van fotoresist zorgt de preciseregulatie ervoor dat de essentiële dimensies behouden blijven, waardoor er minder herwerkzaamheden nodig zijn. Dit resulteert in een hogere opbrengst, minder afval en lagere energieverbruiken dankzij efficiënte verwarming en goede thermische controle. De procesparameters blijven stabiel, zonder dat er problemen ontstaan door temperatuurschommelingen.
Dingen waar je rekening mee moet houden
De verwarmingssystemen zijn ontworpen voor specifieke geometrieën van de chucks en bepaalde spanningen. Voor aanpassingen is het nodig om precies dezelfde dimensies en elektrische eigenschappen te gebruiken. Houd er rekening mee dat er tijd nodig is om de PID-regeling en de vermogensafgifte af te stemmen op jouw solventen en fotoresist. De levensduur van het systeem hangt af van de zuiverheid van de omgeving en van de frequentie waarmee de apparaten worden ingeschakeld en uitgeschakeld. Houd de hoeveelheid deeltjes in de lucht zo laag mogelijk en vermijd snelle inschakel-/uitschakelcyclusen om de integriteit van de lampen en het kwarts te behouden.