Het juiste temperatuurniveau voor de wafer bereiken: waarom goud belangrijk is
Als je ooit te maken hebt gehad met ongelijkmatige verwarming op een wafer, weet je wat voor hoofdpijn dat veroorzaakt. Eén kant van de wafer is perfect, de andere kant niet. Hierdoor heb je uiteindelijk een groep biosensoren met inconsistentie in de gevoeligheid. Dat is zowel tijdsverspilling als veel geldverspilling.
We hebben een manier gevonden om dit op te lossen. We gebruiken IR-lampen met hoge intensiteit in combinatie met reflectoren die zijn bedekt met goud. Het principe is eenvoudig: de energie wordt niet meer verspild, maar gericht naar waar het nodig is.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar deze nemen te veel energie op. Goud is anders: het is zeer reflecterend in het infrarode gebied. Hierdoor wordt de warmte weer teruggekaatst naar de wafer, in plaats van dat deze verdwijnt in de lamp.
Hierdoor kan je het gewenste temperatuurniveau veel sneller bereiken. Je hoeft ook geen hoge spanning te gebruiken, zodat de filamenten niet beschadigen. Het is gewoon efficiënter.
Het lastige aspect: warmtedichtheid
Het probleem is dat wanneer je de straling zo nauwkeurig richt, je voorzichtig moet zijn. Als de afstand tussen de lamp en de wafer verkeerd is, ontstaan er hete punten. Je moet de kalibratie van de Z-as goed regelen. Als de lamp te dichtbij is, wordt het substraat vervormd. Te ver weg? Dan gaan alle voordelen van het goudcoating verloren. Het is een kwestie van balans vinden.
Het behouden van de prestaties
We hebben deze apparaten ontworpen als vervanging voor je huidige IR-array’s. Hierdoor hoef je je hele installatie niet opnieuw op te zetten. We hebben ook de uiteinden van de lampen beschermd, zodat de verbindingen niet worden beschadigd door de hitte.
Eén tip: goud is behoorlijk gevoelig. Als je werkt met corrosieve gassen, moet je ervoor zorgen dat de lampen goed afgesloten zijn. Anders zal de goudlaag beschadigd raken en zal de thermische uniformiteit afnemen.
En voor de liefde van God: houd ze schoon. Een klein laagje stof kan de stralingskracht met 10-15% verminderen. Een snelle schoonmaak bespaart je veel problemen.