Buiten de productieomgeving vergeeft het fotorezistentiemateriaal geen kleine afwijkingen. Bij een zachte verhitting van 2°C kan dit leiden tot storingen in het proces, doordat het oplosmiddel zich niet goed kan verzamelen. Bij een harde verhitting kunnen er problemen ontstaan aan de randen van het materiaal, waardoor het etchede profiel wordt verstoord. We gebruiken een infraroodlamp in de schone ruimte om deze afwijkingen te voorkomen.
Wat belangrijk is onder de motorkap De NIR-lampstraal bereikt het fotorezistentiemateriaal rechtstreeks met kortegolfinfrarood licht. Hierdoor wordt alleen het materiaal verwarmd, niet de ondergrond. Over het hele oppervlak van de chip blijft de temperatuur binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid ligt bij ±0,05°C per verhittingscyclus. De lamp bestaat uit kwarts-halogeen en is geplaatst in een schone ruimte die voldoet aan de vereisten van klasse 1–100. Hierdoor worden er geen deeltjes vrijgegeven tijdens het gebruik. De vermogensdichtheid kan worden aangepast voor chips met een diameter van 150 mm tot 300 mm. De snelheid van de verhitting kan worden geregeld, zodat zelfs dunne lagen het goed overleven. Het systeem werkt 24/7 zonder onverwachte stilstanden. Na 5.000 uur blijft de nauwkeurigheid van het proces binnen de grenzen van 5%.
Dit werkt omdat de thermische precisie overeenkomt met de eisen van het lithografieproces. De lamp houdt de gewenste temperatuur vast tijdens alle stappen van het proces, zodat de nauwkeurigheid van de afmetingen consistent blijft. Een hogere uniformiteit zorgt voor minder defecten en verkort de tijd die nodig is voor kalibratie. De energieverbruik is laag en de snelle, herhaalbare respons zorgt ervoor dat het gemakkelijk is om van het ene product naar het andere over te gaan, zonder dat dit invloed heeft op de kwaliteit van het product.
Een paar praktische punten De lamp heeft een aparte stroomvoorziening nodig en moet worden verbonden via kabels die EMI-vriendelijk zijn, zodat er geen storingen optreden in de expositietoestellen. Wanneer je van chipgrootte wisselt, moet je rekening houden met een korte opwarmtijd en een kalibratieprocedure. De lamp werkt op hoge temperaturen en met veel vermogen, dus moet deze met zorg worden behandeld volgens de regels van de schone ruimte. We leveren ook een set om de lamp gemakkelijk te vervangen, zodat het onderhoud niet te lang duurt.