ในกระบวนการผลิต ฟิล์มโฟโตรีซิสต์จะไม่ยอมรับความผิดพลาดเล็กๆ น้อยๆ เลย หากอุณหภูมิในการอบสูงกว่า 2°C ก็จะทำให้เกิดความผิดเพี้ยนของรูปร่างของชิ้นส่วนที่ถูกประมวลผล ส่วนการอบด้วยความร้อนสูงนั้น จะทำให้บริเวณขอบของชิ้นส่วนร้อนเกินไป จนทำให้โครงสร้างของชิ้นส่วนเสียหายได้ เราจึงติดตั้งหลอดไฟอินฟราเรดไว้ในห้องที่มีสภาพสะอาด เพื่อลดความแปรปรวนดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญจริงๆ หลอดไฟอินฟราเรดจะส่งคลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นเข้าไปยังฟิล์มโฟโตรีซิสต์โดยตรง ทำให้ฟิล์มร้อนขึ้น แต่ไม่ส่งผลต่อวัสดุอื่นๆ อุณหภูมิที่ได้จะอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะอยู่ในช่วง ±0.05°C ระหว่างการอบแต่ละครั้ง หลอดไฟนี้ทำจากควอตซ์-ฮาโลเจน และติดตั้งอยู่ในห้องที่มีสภาพสะอาดระดับ Class 1–100 ซึ่งจะไม่มีอนุภาคใดๆ หลุดออกมาขณะที่มีการอบ ความหนาแน่นของพลังงานสามารถปรับได้สำหรับแผ่นวัสดุขนาด 150 มม. ถึง 300 มม. และอัตราการเพิ่มอุณหภูมิก็สามารถควบคุมได้ เพื่อให้ฟิล์มบางๆ สามารถทนต่อการอบได้ทั้งแบบอบอุ่นและอบด้วยความร้อนสูง ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอดเวลา โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด และความผิดเพี้ยนของผลลัพธ์จะอยู่ในช่วง 5% หลังจากการทำงานมากกว่า 5,000 ชั่วโมง
เหตุผลที่ระบบนี้สามารถทำงานได้ดีในทางปฏิบัติก็คือ ความแม่นยำด้านอุณหภูมินั้นสอดคล้องกับความต้องการของกระบวนการผลิต หลอดไฟนี้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในทุกขั้นตอน ทำให้การควบคุมขนาดของชิ้นส่วนมีความแม่นยำมากขึ้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่สูงขึ้นจะช่วยลดข้อบกพร่องที่ขอบของชิ้นส่วน ลดปริมาณวัสดุที่เสียหาย และยังช่วยลดเวลาในการตรวจสอบคุณภาพอีกด้วย การใช้พลังงานก็น้อยมาก และการตอบสนองที่รวดเร็วและสามารถทำซ้ำได้ ก็ช่วยให้การเปลี่ยนชิ้นส่วนทำได้เร็วขึ้น โดยไม่ส่งผลต่อคุณภาพของชิ้นส่วน
ข้อควรระวังในการใช้งานจริง หลอดไฟนี้จำเป็นต้องมีวงจรไฟฟ้าที่เหมาะสมสำหรับห้องที่มีสภาพสะอาด และสายไฟที่ไม่ก่อให้เกิดสัญญาณรบกวน เพื่อไม่ให้ส่งผลต่ออุปกรณ์อื่นๆ ในกระบวนการผลิต เมื่อมีการเปลี่ยนขนาดของแผ่นวัสดุ จำเป็นต้องมีเวลาในการอุ่นเครื่องสักพัก และต้องมีการปรับอุณหภูมิให้เหมาะสมด้วย หลอดไฟนี้มีอุณหภูมิสูงและมีกำลังไฟมาก ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการจัดการอย่างระมัดระวังภายในห้องที่มีสภาพสะอาด เราจึงมีชุดอุปกรณ์สำหรับการเปลี่ยนหลอดไฟไว้ด้วย เพื่อให้การบำรุงรักษาไม่ล่าช้า