ในกระบวนการผลิตแบบลิโทกราฟีนั้น การอบฟอโตรีซิสต์ไม่ใช่เพียงข้อแนะนำเท่านั้น แต่เป็นเงื่อนไขที่จำเป็นต้องปฏิบัติตาม ความผันผวนเพียง 0.5°C ก็สามารถส่งผลต่อความแม่นยำในการควบคุมขนาดของวัสดุได้ และความไม่สม่ำเสมอในบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงก็สามารถส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิตได้เช่นกัน ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีเครื่องทำความร้อนที่มีประสิทธิภาพเทียบเท่ากับผลิตภัณฑ์ของ OEM โดยไม่จำเป็นต้องพึ่งพาผู้ผลิตรายเดียว
เราผลิตเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดตามความต้องการเฉพาะของลูกค้า เพื่อควบคุมอุณหภูมิของวัสดุในระดับวีเวอร์ โดยระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C และมีความแม่นยำในการตั้งค่าอุณหภูมิสูงมาก ซึ่งช่วยปกป้องประสิทธิภาพการผลิตของคุณ เราใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรด เพราะสามารถส่งพลังงานเข้าสู่วีเวอร์ได้โดยตรง ทำให้มีการตอบสนองที่รวดเร็ว และมีความล่าช้าระหว่างการสั่งงานกับผลลัพธ์น้อยที่สุด
อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และทุกอินเทอร์เฟซถูกออกแบบมาเพื่อให้ไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เลย ค่าความหนาแน่นของพลังงาน แรงดัน และขนาดต่างๆ ถูกกำหนดมาให้เหมาะสมกับข้อกำหนดของห้องผลิต ดังนั้นจึงสามารถนำมาใช้เป็นส่วนหนึ่งของระบบควบคุมอุณหภูมิได้โดยไม่ต้องปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม
เรามีการตรวจสอบประสิทธิภาพของอุปกรณ์ตามมาตรฐานระดับนานาชาติสำหรับอุปกรณ์ semiconductor และยังมีการจัดหาข้อมูลการวัดต่างๆ เช่น แผนที่แสดงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ ระยะเวลาในการอบ และความเสถียรภาพของอุณหภูมิภายใต้ภาระต่างๆ ดังนั้นจึงสามารถติดตามประสิทธิภาพของอุปกรณ์ได้อย่างแม่นยำ ไม่ต้องคาดเดา ผลที่ได้คือ การอบที่มีความเสถียร มีของเสียน้อยลง และสามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพ
การติดตั้งอุปกรณ์นั้นทำได้ง่าย แต่ควรให้ความสำคัญกับจุดควบคุมอุณหภูมิเป็นพิเศษ ควรตรวจสอบการจัดวางอุปกรณ์ให้ถูกต้อง และความแน่นของซีล เพื่อให้มีการปิดผนึกที่สมบูรณ์ แม้แต่การรั่วซึมเล็กน้อยก็สามารถส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิตได้ ควรมีการทดสอบการใช้งานเพื่อปรับแต่งค่า PID ให้เหมาะสมกับสภาพการทำงานของอุปกรณ์