ในขั้นตอนการผลิต ก่อนที่จะบรรจุวงจรรวมเข้ากล่อง วงจรรวมจะถูกนำออกมาจากกระบวนการทำความสะอาดครั้งสุดท้าย และเวลาก็เริ่มเดินหน้า ความชื้นที่ยังคงอยู่บนพื้นผิวของวงจรรวมจะก่อให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น รอยแตก หรือการสูญเสียคุณภาพของวงจรรวม แม้แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจส่งผลเสียต่อคุณภาพของวงจรรวมได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีกระบวนการทำให้วงจรรวมแห้งอย่างมีประสิทธิภาพ โดยต้องทำให้เป็นไปตามมาตรฐานการผลิตเช่นเดียวกัน
สิ่งที่สำคัญคืออะไร? เรามีการควบคุมอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวของวงจรรวม และความแม่นยำของอุณหภูมิก็อยู่ในช่วง ±0.2°C เครื่องทำความร้อนใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมกับหน้าต่างควอตซ์เพื่อให้การถ่ายโอนพลังงานเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว และใช้วัสดุคาร์บอนไฟเบอร์เพื่อเพิ่มความแข็งแรงทางกล ในห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 ปริมาณอนุภาคที่เกิดขึ้นจะอยู่ในระดับต่ำกว่า 0.1 อนุภาค/ตารางเซนติเมตร ที่ขนาด 0.1 ไมครอน
อุณหภูมิจะคงที่เป็นเวลา 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป โดยมีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิไม่เกิน 5% การควบคุมอุณหภูมิใช้ระบบ SECS/GEM และระบบควบคุมอุณหภูมินี้ถูกออกแบบมาให้ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือตลอด 24/7
ทำไมการใช้ระบบนี้ถึงเหมาะสำหรับขั้นตอนการบรรจุก่อน? ระบบนี้ถูกออกแบบมาเพื่อการทำให้วงจรรวมแห้งก่อนบรรจุเท่านั้น การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว ดังนั้นเวลาในการผลิตจึงลดลงโดยไม่ส่งผลกระทบต่ออุณหภูมิที่ต้องการ การไม่มีอนุภาคใดๆ ทำให้พื้นผิวของวงจรรวมสะอาด และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็ช่วยปกป้องโครงสร้างของวงจรรวมที่เราสร้างขึ้นในขั้นตอนการอบแห้ง
การใช้พลังงานลดลง เพราะเครื่องทำความร้อนสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ไม่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างกะทันหัน ผลลัพธ์ก็คือ มีการปรับแก้น้อยลง มีความแม่นยำของขนาดวงจรรวมที่สูง และสามารถวางแผนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ
อะไรบ้างที่จำเป็นสำหรับการใช้ระบบนี้? คุณจำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟ 208–240 V พร้อมกับอากาศที่สะอาดและแห้งที่มีความดัน 4–6 บาร์ ขนาดของอุปกรณ์นั้นกะทัดรัด แต่จำเป็นต้องมีพื้นที่ว่างรอบหน้าต่างควอตซ์เพื่อการระบายอากาศและการเข้าถึงอุปกรณ์ได้ง่าย การเชื่อมต่อกับอุปกรณ์อื่นๆ ก็ทำได้ง่าย แต่ควรมีการทดลองใช้งานก่อนเพื่อปรับแต่งค่าต่างๆ และตรวจสอบความสมบูรณ์ของวงจรรวม
คาดว่าจะใช้เวลาประมาณสองสัปดาห์ในการปรับแต่งระบบ รวมถึงการตั้งค่าพารามิเตอร์ต่างๆ ด้วยระบบ SECS/GEM