บนพื้นลิธิโอกราฟี ฟิล์มโฟโตเรซิสไม่ให้อภัยต่อการเบี่ยงเบน การเปลี่ยนแปลง 2°C ในโปรไฟล์การอบเบา (soft bake) หรือการอบแข็ง (hard bake) จะทำให้การควบคุมขนาดที่สำคัญ (critical dimension) หยุดชะงัก—แล้วสายการผลิตจะหยุด เราได้สร้างที่ครอบฮีตเตอร์จากสแตนเลสสำหรับโรงงานผลิตเวเฟอร์ ซึ่งความเสถียรทางความร้อนไม่ใช่แค่สิ่งที่ควรมี แต่มันคือกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญภายใน
ที่ครอบนี้มีภายนอกทำจากสแตนเลสที่มีความบริสุทธิ์สูงและผ่านการขัดอิเล็กโทรโพลิช พร้อมรูปแบบฮีตเตอร์ภายในที่ปรับให้เหมาะกับความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์—±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวการอบ เซ็นเซอร์ NIR ที่รวมอยู่และเส้นทางควบคุมที่ปิดผนึกช่วยให้การทำซ้ำจุดตั้งค่ามีความแน่นหนา ดังนั้นการอบเบาและการอบแข็งจะลงที่ตำแหน่งเดียวกันซ้ำแล้วซ้ำเล่า มันได้รับการจัดอันดับสำหรับห้องสะอาด Class 1–100 และออกแบบมาเพื่อลดการเกิดอนุภาค: รอยต่อเรียบ, การปล่อยก๊าซน้อยที่สุด และพื้นผิวที่ทนต่อโปรโตคอลการทำความสะอาดด้วยน้ำที่รุนแรง พลังงานถูกปรับให้เข้ากับสิ่งอำนวยความสะดวกของโรงงาน และอินเทอร์เฟซสามารถเชื่อมต่อเข้ากับแพลตฟอร์มการจัดการเวเฟอร์มาตรฐานโดยไม่ต้องทำการปรับปรุงใหม่
เหตุผลที่มันมีความทนทานในการผลิต
ในล็อตจริง วินัยทางความร้อนหมายถึงการเบี่ยงเบนที่น้อยลง, ขยะที่น้อยลง, และประสิทธิภาพขนาดที่สำคัญที่คงที่ระหว่างการผลิต การควบคุมความร้อนที่เข้มงวดช่วยลดเวลาในการเข้าถึงอุณหภูมิ ดังนั้นคุณจึงลดเวลาอบที่ไม่ทำงานและพลังงาน—โดยไม่ทำให้โปรไฟล์ฟิล์มโฟโตเรซิสเสียหาย ความเชื่อถือได้ถูกสร้างเข้าไปในทุกจุดเชื่อมและการสิ้นสุด ดังนั้นเครื่องมือจึงทำงานต่อเนื่อง 24/7 โดยมีเซอร์ไพรส์น้อยลง เมื่อโปรไฟล์การอบสามารถทำซ้ำได้ รอบการรับรองจะกระชับขึ้น และการรับรองใหม่จะกลายเป็นงานที่มีการวางแผน ไม่ใช่การฝึกซ้อมฉุกเฉิน
คำเตือนที่ควรจำในโรงงาน
เนื่องจากที่ครอบทำจากสแตนเลส การต่อสายดินและการเชื่อมต่อจะต้องได้รับการตรวจสอบเมื่อทำการติดตั้ง—กระแสไฟฟ้าที่หลงเหลือและการควบคุม ESD ไม่ใช่ตัวแปรที่คุณจะตามหาหลังจากนั้น และก่อนที่คุณจะลงนามยืนยัน ให้ยืนยันความเข้ากันได้ของยูทิลิตี้กับการกำหนดค่าของเครื่องมือที่แน่นอน: แรงดันไฟฟ้า, กระแสไฟ, ความดันน้ำหล่อเย็น, และการระบายอากาศ ความไม่ตรงกันจะทำให้ประสิทธิภาพถูกจำกัด แม้ว่าหน่วยจะติดตั้งได้อย่างสะอาดก็ตาม วางแผนเชื่อมต่อในช่วงแรก