فیبرکی فلور پر، پیداواری صلاحیت درجہ حرارت کے لحاظ سے متعین ہوتی ہے – بالکل سادہ بات ہے۔ فوٹوریزسٹ کو نرم کرنے کے عمل میں 0.5°C کا فرق، یا ویفر کے کسی حصے میں درجہ حرارت میں فرق، اہم ابعاد کو متأثر کر سکتا ہے، ذرات کی تعداد میں اضافہ ہو سکتا ہے، اور اچھے پروڈکٹس کو بیکار بنا دیا جا سکتا ہے۔ ہم نے کاربن نینو ٹیوب ہیٹرز استعمال کئے تاکہ اس عمل میں درجہ حرارت سے متعلق پیشن گوئیوں کی ضرورت ختم ہو جائے۔
کون سے عوامل اہم ہیں؟
ہم نے کاربن نینو ٹیوب ہیٹنگ عناصر کا استعمال کیا، کیوں کہ یہ تیزی سے ردِعمل دیتے ہیں، مخصوص علاقوں پر ہی درجہ حرارت برقرار رکھتے ہیں، اور مستحکم اخراجی صلاحیت رکھتے ہیں۔ اس کے ساتھ ہی شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) کا استعمال بھی کیا گیا، تاکہ توانائی کو مؤثر طریقے سے منتقل کیا جا سکے۔ اس کے نتیجے میں، ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور سیٹپوائنٹ کی درستگی ±0.2°C کے اندر رہتی ہے۔ ریمپ کنٹرول کی بدولت درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جا سکتا ہے، اور طویل عرصے تک بھی درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے۔ یہ ڈیزائن کسی بھی قسم کے ذرات کی پیداوار کو روکتا ہے، اور کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہے۔ کلوزڈ-لوپ سینسنگ کی بدولت یہ سسٹم مسلسل کام کرتا رہتا ہے، اور کوئی اچانک بندش نہیں ہوتی۔
لیتھوگرافی اور دیگر عملوں میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی میں، مناسب فوٹوریزسٹ کثافت حاصل کرنے اور حل کو خارج کرنے کے لئے یکساں درجہ حرارت ضروری ہے؛ جبکہ ہارڈ بیک عمل میں، پیٹرن کو برقرار رکھنے کے لئے دہرائے جانے والے عمل ضروری ہیں۔ ہمارے ہیٹرز یکسانیت اور درستگی فراہم کرتے ہیں، جس سے CD کنٹرول بہتر رہتا ہے، اور کناروں پر موجود نقائص کم ہو جاتے ہیں۔ ویفر کو خشک کرنے کا عمل بھی بہتر ہو جاتا ہے، اور سطح پر کم نقائص رہتے ہیں، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔
کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
کاربن نینو ٹیوب ہیٹرز کے لئے الگ سے پاور اور کنٹرول انٹرفیس کی ضرورت ہے، تاکہ یہ آپ کے آلات کے معیارات اور حفاظتی تقاضوں کے مطابق کام کر سکے۔ فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ کے مطابق ریمپ پروفائلز کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔
یہ سسٹم بہت مضبوط ہے، لیکن پھر بھی آپ کو اپنے آلات کے لئے درجہ حرارت کنکشن کی جانچ کرنی ہوگی – ورنہ مطلوبہ یکسانیت حاصل نہیں ہو سکے گی۔ ایک بار جب یہ سسٹم درست طریقے سے کام کرنے لگے، تو عمل مستحکم رہتا ہے۔ شفٹیں صرف اسی صورت میں ہوتی ہیں، جب آپ ایسا چاہیں۔