فوٹوریزسٹ میں چھوٹی سی بھی غلطیاں قابل برداشت نہیں ہوتیں۔ اگر درجہ حرارت 2°C تک بڑھ جائے، تو اس سے فوٹوریزسٹ میں تغیرات پیدا ہوجاتے ہیں، جس کی وجہ سے پروسیسنگ کے بعد پیٹرن میں خرابیاں ظاہر ہوتی ہیں۔ اگر درجہ حرارت زیادہ ہو جائے، تو فوٹوریزسٹ کی ساخت خراب ہو جاتی ہے۔ اس لیے ہم کلین روم میں انفراریڈ لیمپ استعمال کرتے ہیں، تاکہ اس طرح کے تغیرات کو دور کیا جاسکے۔
بنیادی عوامل
انفراریڈ لیمپ، فوٹوریزسٹ فلم پر براہِ راست کم تردد والی انفراریڈ شعاعیں بھیجتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ گرم ہو جاتا ہے، لیکن اس سے کیریئر پر کوئی اثر نہیں پڑتا۔ یہ لیمپ ویفر کے پورے سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتا ہے، جبکہ بار بار پروسیسنگ کے بعد بھی درجہ حرارت ±0.05°C کے اندر ہی رہتا ہے۔ یہ لیمپ کوارٹز-ہیلوجن سے بنا ہے، اور یہ کلاس 1–100 کے مطابق کلین روم میں نصب کیا جاتا ہے؛ اس طرح لیمپ سے کوئی ذرات خارج نہیں ہوتے۔ پاور ڈنسٹی 150 ملی میٹر سے 300 ملی میٹر والے ویفروں کے لیے ایڈجسٹ کی جاسکتی ہے، اور ریمپ ریٹ کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے، تاکہ پتلی فلمیں سافٹ بیک اور ہارڈ بیک دونوں صورتوں میں برقرار رہ سکیں۔ یہ سسٹم فیکٹری میں 24 گھنٹے کام کرتا رہتا ہے، اور 5,000 گھنٹوں کے بعد بھی آؤٹ پٹ میں 5% سے کم تغیرات ہوتے ہیں۔
عملی استعمال میں اس کی اہمیت
اس سسٹم کی حرارتی درستگی، لیتھوگرافی کے عمل کے لیے ضروری ہے۔ یہ لیمپ، سافٹ بیک، ہارڈ بیک اور پوسٹ-بیک مراحل کے دوران درجہ حرارت کو کنٹرول کرتا ہے، جس سے پروڈکشن کے دوران معیار برقرار رہتا ہے۔ بہتر درجہ حرارتی کنٹرول سے کناروں پر خرابیاں کم ہوتی ہیں، فضول مال کم ہوتا ہے، اور پروسیسنگ کا وقت بھی کم ہوتا ہے۔ پاور کی کھپت کم ہے، اور تیز ردِعمل کی وجہ سے پروسیسنگ کے عمل میں کوئی تاخیر نہیں ہوتی۔
کچھ عملی حقائق
لیمپ کے لئے الگ کلین روم پاور سرکٹ اور EMI-فری کیبلنگ ضروری ہے، تاکہ یہ ایکسپوژر ٹولز سے متاثر نہ ہو۔ جب ویفر کا سائز تبدیل کیا جاتا ہے، تو تھوڑا وقت لگتا ہے، اور تھرمل کیلیبریشن بھی ضروری ہے۔ لیمپ بہت گرم ہوتا ہے، اس لیے اسے کلین روم کے قوانین کے مطابق ہی استعمال کرنا چاہیے؛ ہم نے ایک فیلڈ اسویپ کٹ بھی فراہم کیا ہے، تاکہ منظم مرمت کے عمل میں کوئی تاخیر نہ ہو۔