لیتھوگرافی کے عمل میں، جلد ہی یہ سیکھا جاتا ہے کہ آدھے ڈگری کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو تبدیل کر سکتا ہے۔ اور اگر ہیٹر کا درجہ حرارت کناروں پر زیادہ ہو جائے، تو ٹریک میں داغ نظر آنے لگتے ہیں۔ کلاس 1-100 کے صاف کمروں میں، ہیٹر سے نکلنے والا ایک ہی ذرہ بھی پوری پروڈکشن کو تباہ کر سکتا ہے۔ اس لئے ہم نے کلین روم اوونوں میں انفراریڈ ہیٹرز استعمال کئے، تاکہ حرارت صرف ویفر پر ہی مرکوز رہے، اور کمرے کے باقی حصوں میں نہ پھیلے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ (SWIR) کوارٹز ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ براہِ راست حرارت فراہم کی جاسکے، اور ردِعمل بھی فوری ہو۔ بند لوپ کنٹرول کی وجہ سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، لہذا ہر بار فوٹوریزسٹ کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔ ہیٹر کا جسم سٹینلیس سٹیل سے بنا ہے، اور اس میں سیلڈ جوائنٹس اور کم گیس خارج کرنے والے مواد استعمال کئے گئے ہیں، تاکہ کوئی ذرہ پیدا نہ ہو۔ کلین روم کے معیارات کے مطابق بنائے گئے اس آلے کی وجہ سے، آلودگی کی سطح کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے۔
حقیقی پروسیسنگ میں یہ کیوں کام کرتا ہے؟
فوٹوریزسٹ درجہ حرارت کے لحاظ سے حساس ہے۔ بہتر درجہ حرارت کنٹرول سے ویفر کی سطح پر یکسانیت برقرار رہتی ہے، جس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ تیز ردِعمل کی وجہ سے بیکنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، لہذا پروڈکشن کی رفتار بڑھ جاتی ہے۔ اور چونکہ حرارت سیدھے ویفر تک پہنچتی ہے، لہذا توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور کسی بھی غیرمتوقع رکاوٹ کے بغیر کام جاری رہتا ہے۔
کن باتوں کا خیال رکھنا ضروری ہے؟
انفراریڈ ہیٹنگ کے لئے دیکھنے کا راستہ ضروری ہے، لہذا ویفر کی سمت اور فاصلہ کو کیویٹی کی ساخت کے مطابق رکھنا ضروری ہے۔ اگر ایمیٹر کو کسی چیز سے ڈھک دیا جائے، تو سرد جگہیں پیدا ہو جاتی ہیں۔ انسٹال کرنے سے پہلے وولٹیج اور کنیکٹر کی مطابقت کی جانچ کریں، اور یقین کریں کہ ایگزاسٹ پاتھ کلین روم کی ہوا کے بہاؤ کے مطابق ہے۔ باقاعدگی سے ایمیٹر کی جانچ کرکے پروسیسنگ کے دوران یکسانیت کو برقرار رکھنا ضروری ہے۔