在半导体制造过程中，控制碳排放至关重要。因此，使用不会产生臭氧的红外灯显然是最佳选择。
半导体制造离不开热量，而且这种热量需要精确控制，同时还需要快速产生。不过，长期以来，人们一直采用的是那些会产生臭氧的加热方式。不过，处理臭氧其实是一件非常麻烦的事情。为了确保空气安全，人们不得不花费大量金钱和精力来安装净化系统和强大的通风设备。其实，这些措施都是为了解决由这些灯光产生的问题而已。
**关键在于：**普通的短波红外灯的波长在185纳米到254纳米之间，这样的波长会分解氧气分子，从而产生臭氧。为了解决这个问题，我们可以使用带有特殊涂层的石英封装结构。这种结构就像一个过滤器，它能阻挡那些会生成臭氧的紫外线，同时让热量通过。
一旦消除了臭氧，就无需再使用那些高能耗的排气系统以及复杂的臭氧分解装置了。这样一来，每块晶圆所需的电能就会减少。这对地球来说是个好处，同时对降低电费也有好处。
**不过，这并非毫无代价——还是有一些问题的。**这类灯泡的密度非常高，它们能将热量精准地传递到需要的地方，也就是芯片上，而不会让整个机器过热。不过，由于有大量的能量通过狭窄的管子输送，所以灯泡的头部会变得非常热。如果冷却系统不够完善，就容易导致灯泡烧毁。这其实是一个简单的权衡：虽然效率很高，但必须确保冷却系统能够跟上。
**如何实现转变？**最棒的是，对于大多数现有的生产设备来说，这种替换方案几乎不需要对整个生产线进行改造。您只需不再依赖化学净化手段即可。
当人们谈论“绿色工厂”时，往往觉得那是很复杂的事情。但实际上，这不过是常识罢了。减少外部设备的数量意味着更低的能耗，而更低的能耗则意味着更小的占地面积。这其实是一个简单的数学原理，而在现实生活中确实有效。