保持晶圆温度：为何我们选择使用红外线加热技术 在将晶圆从一个处理阶段转移到另一个处理阶段时，温度至关重要。长期以来，人们一直使用对流式烤箱来保持晶圆的温度，但说实话，这种做法效率很低——为了给几片晶圆保温，却不得不让整个房间都处于高温状态。 因此，我们开始在洁净室内的传送车上使用红外线灯。这是一种...

停止盲目猜测温度：更有效的智能工厂温控方法 如果你正在打造数字化的工业4.0工厂，那你一定已经意识到，传统的对流式加热方式已经不再适用了。它的加热速度太慢，而且过程也很混乱。 正因如此，我们选择使用红外线加热系统。这种系统的优势在于，其热源并不受周围空气的影响。如果你希望控制洁净室内的颗粒物浓度，...

停止在晶圆制造过程中浪费能源 如果您正在升级生产设备，那么您应该明白，浪费电能其实就相当于白白扔钱。在加热晶圆时，我们需要的不仅仅是“大量的热量”，更重要的是让这些热量能够准确地传递到晶圆表面。 问题在于：大多数普通石英灯的效率很低，它们会将能量向各个方向散发，因此大量珍贵的电能根本无法到达目标位...

在曝光过程中，光刻胶对任何细微的温度变化都非常敏感。如果烘烤温度偏差达到2°C，就可能导致溶剂残留，进而使图案出现变形。而如果烘烤温度过高，晶圆的边缘区域就会受到影响，蚀刻效果也会变差。因此，我们在洁净室的工作台上配备了红外灯，以此来消除这些温度波动带来的影响。 关键在于其精确的控温能力 该红外灯...

在光刻过程中，人们很快就会明白：如果烘烤温度只相差半度，就可能会改变光阻层的厚度。而如果烘烤时边缘区域温度过高，那么在光阻层上就会出现瑕疵。在1-100级洁净室中，哪怕只有一个来自加热器的颗粒，都可能毁掉整批产品。因此，我们采用了红外加热器来控制温度，确保热量仅作用于晶圆上，不会扩散到整个腔体中。...