半导体洁净室推车式加热器

保持晶圆温度：为何我们选择使用红外线加热技术 在将晶圆从一个处理阶段转移到另一个处理阶段时，温度至关重要。长期以来，人们一直使用对流式烤箱来保持晶圆的温度，但说实话，这种做法效率很低——为了给几片晶圆保温，却不得不让整个房间都处于高温状态。 因此，我们开始在洁净室内的传送车上使用红外线灯。这是一种...