简介 让我们来弄清楚，究竟是什么让这些烤箱能够正常工作。我们不会随便使用普通的灯来作为加热元件，因为那样做是无法保证稳定的加热效果的。我们会专门为晶圆干燥的需求来设计加热元件——因为在半导体生产中，需要的是持续、稳定且可预测的加热效果，而且这种效果必须保持数小时不变。 这是一种短波红外发射器，专为...

在光刻过程中，人们很快就会明白：如果烘烤温度只相差半度，就可能会改变光阻层的厚度。而如果烘烤时边缘区域温度过高，那么在光阻层上就会出现瑕疵。在1-100级洁净室中，哪怕只有一个来自加热器的颗粒，都可能毁掉整批产品。因此，我们采用了红外加热器来控制温度，确保热量仅作用于晶圆上，不会扩散到整个腔体中。...