防水红外灯用于冲洗

在晶圆车间，冲洗阶段的温度稳定性并不是可有可无的，而是真正的过程控制变量。让冲洗水温度漂移，您会开始看到光刻胶残留和边缘滴落现象。颗粒计数上升，合格批次被报废。我们为冲洗区域开发了防水红外灯，以保持冲洗区的热均匀性在±0.1°C以内，因此冲洗步骤像固定配方一样进行，而不是凭猜测。 内部构造 它采用...