光刻胶软烘烤灯

在光刻工艺中，你知道的，哪怕温度偏差只有半度，都可能导致关键尺寸出现偏差。如果再加上颗粒产生的问题，原本合格的芯片也可能变成废品。因此，需要一种能够作为真正工艺参数来控制的加热源，而不是另一个需要不断调整的变量。 技术上重要的因素 我们在光刻胶预烘过程中使用石英发射器的短波红外灯。这种加热方式速度...