晶圆加热的安全距离

如何充分利用晶圆加热功能 在加热硅晶圆时，关键并不只是提高温度而已，更重要的是要确保热量能够被有效地利用起来。 以普通的石英灯为例，它们会向各个方向辐射能量。如果没有反射器的话，这些能量就会白白浪费在机器外壳的内部。这样一来，一半的电能就白花了。因此，我们使用镀金反射器，以此来避免能量浪费，让热量...