用于光刻机的石英玻璃防护罩

别再等待烤箱升温了：为何红外加热技术在芯片制造中越来越受欢迎 如果有过半导体加工经验的人，都会明白等待加热腔体达到合适温度的痛苦。多年来，我们一直依赖热空气来加热晶圆，希望它能逐步将晶圆的温度提升到所需水平。但如今情况已经发生了变化——越来越多的人开始放弃使用热风加热，转而采用红外加热技术。 两者...