工业晶圆干燥系统加热器

在晶圆处理车间里，干燥装置上哪怕存在小于1纳米的微粒，也足以在几秒钟内毁掉一块300毫米厚的晶圆。传统的加热器存在精度问题，而温度不均匀性则会导致光刻胶处理后晶圆表面宽度出现偏差。因此，需要的是能够与工艺需求同步的温度控制系统，而不是那种会干扰工艺进程的控制系统。 关键在于核心性能 我们设计的工业...