洁净室设备升级中
停止在晶圆制造过程中浪费能源 如果您正在升级生产设备,那么您应该明白,浪费电能其实就相当于白白扔钱。在加热晶圆时,我们需要的不仅仅是“大量的热量”,更重要的是让这些热量能够准确地传递到晶圆表面。
问题在于:大多数普通石英灯的效率很低,它们会将能量向各个方向散发,因此大量珍贵的电能根本无法到达目标位...
半导体器件特性测试用加热器
在芯片制造过程中,晶圆级测试以及光刻胶烘烤过程中的温度波动并非什么抽象的概念。这些温度波动会直接导致线宽误差、残留膜层以及成品率下降等问题。我们设计的半导体器件测试用加热器,就是为了消除这些波动,从而确保工艺参数始终处于可控范围内。
从技术层面来看,我们的短波红外加热技术能够实现快速且精确的加热,...