TEL 东京电子 加热灯

在芯片制造过程中，光刻胶固化或晶圆干燥过程中的温度波动不仅仅是一个瓶颈问题。这种温度波动还会改变晶圆的尺寸参数，进而影响产品的良率。为此，我们设计了TEL加热灯，以在多次循环中保持工艺温度的稳定。 其核心优势在于： 该加热灯采用了高纯度石英外壳，内部装有短波卤素灯源，并配有闭环控制机制。这样一来，...