碳纳米管制备加热器

在晶圆制造过程中，温度控制至关重要——只需精确到几度而已。如果在光阻软化处理过程中温度偏差达到0.5℃，或者在整个晶圆上存在温度不均的情况，就可能导致关键尺寸出现偏差，进而增加颗粒数量，使原本合格的晶圆变成废品。我们设计的碳纳米管加热器能够消除这种温度控制的不确定性。 关键在于什么？ 我们选择碳纳...