红外线与对流干燥晶圆比较

在晶圆厂车间，清洗或溶剂残留在光刻胶中的水印不仅是孤立的缺陷。它们会逐渐放大，直接导致线宽偏差、颗粒数量增加和报废。去除水分并固定薄膜的热处理步骤不是背景噪声，而是一个不可忽视的控制点。 技术关键点 红外干燥将能量直接传递到晶圆及其薄液膜中，而非腔室空气。这带来更快的热响应和更严格的温度控制，能够...