停止在晶圆制造过程中浪费能源
如果您正在升级生产设备，那么您应该明白，浪费电能其实就相当于白白扔钱。在加热晶圆时，我们需要的不仅仅是“大量的热量”，更重要的是让这些热量能够准确地传递到晶圆表面。
问题在于：大多数普通石英灯的效率很低，它们会将能量向各个方向散发，因此大量珍贵的电能根本无法到达目标位置。这就是为什么我们会使用镀金反射器——它可以帮助减少能量的流失。
黄金的神奇作用
想象一下普通的红外发射器，它会把能量以360度的方式向外散发。在洁净室中，其中一半的热量会直接被外壳吸收，或者散失到空气中。
为了解决这个问题，我们在反射器上涂上一层薄薄的黄金。黄金具有极强的反射红外线的能力，这样就能让那些光子重新回到晶圆上。这样一来，从电网获取的每一瓦特电能都能被有效利用。
关于冷却系统的注意事项
不过，不能简单地将镀金灯插入旧设备中即可。首先需要检查设备的冷却系统是否正常。因为黄金能集中热量，所以焦点处的温度会非常高。如果冷却系统无法承受这样的热量，那么可能会导致灯的密封件受损，或者使晶圆边缘过热。因此在启动设备之前，务必确保气流和散热系统正常工作。
这对您的好处
这并非什么抽象的“改进”，而是实实在在的提升。您会看到，晶圆的升温速度更快，且热量能更均匀地分布在整个晶圆上。再也不用担心因为局部过冷而导致的缺陷了。此外，这种方式还能让您有更多灵活性——您可以调整总功率，以达到目标温度，或者在不更换主要供电设备的情况下提升温度。这无疑能让工作更加轻松。