高能效晶圆加热器

为何我们要如此重视晶圆加热器的绝缘性能测试 在极高真空环境中运行晶圆时，容错率几乎为零。哪怕出现一点点电气泄漏，也会导致整个生产批次失败，生产线也会停止运转，带来巨大的麻烦。 我们设计的加热器能够承受极端的热循环考验，但真正的威胁其实是绝缘层的破损。涂层上的微小孔洞或导线上的细微损伤都可能引发电弧...